アニール熱処理によるサファイア基板表面のステップ-テラス構造形成とPbTiO3ナノ結晶育成

抄録

近年、センサ・通信モジュールといったIoTデバイスが世界中で急速に進む中、電源の確保や低消費電力化などによる問題の解決策として、強誘電体メモリや振動力発電素子が期待されている。本研究では、強誘電体PbTiO3のナノ結晶の育成を目的にα-Al2O3基板表面の均一な原子平坦面の形成に着目し、作製条件の最適化に取り組んだ。特に、基板の処理温度、基板表面状態、その他スパッタ条件が得られるPbTiO3のナノ結晶に与える影響について調べた。結果、高品質な原子レベルでのステップ-テラス構造やナノシート、ナノワイヤの形成が確認できた。