A New Diamond Chemical Vapor Deposition Method on Steel Surface

抄録

ダイヤモンドコーティングされた鋼は，特に工具にとって優れた材料である。しかし，化学蒸着法による鋼表面へのダイヤモンド直接蒸着は困難であるとされている。本研究では，化学蒸着法による直接蒸着を可能にするため，ステンレス鋼の表面に機械加工処理を施した。ステンレス鋼の表面を，サンドペーパーで研磨した場合，金属やすりで研磨した場合，フラットドリルで切削した場合では，稀にダイヤモンド膜が生成されたがほとんどの場合はアモルファスカーボンだった。これに対し，ステンレス鋼表面にドリルで規則的な窪みのパターンを作った場合，高頻度で高品質のダイヤモンドが得られた。この場合，ダイヤモンドは窪みの縁の部分，または窪みと窪みの間の平らな部分（加工されていない部分）に堆積した。本研究で得られたダイヤモンド膜の品質は，これまでに報告された「化学蒸着法による鋼表面へのダイヤモンド直接蒸着」の中で最高である。中間層なし，シーディングなしの条件で，「シンプルな機械加工のみで鋼表面へ高品質のダイヤモンドを直接蒸着可能である」ということは重要な発見である。