高誘電率薄膜キャパシタ

SHM会誌

Online ISSN : 1884-1198
Print ISSN : 0919-4398
ISSN-L : 0919-4398

高誘電率薄膜キャパシタ

小松周一, 伊藤寿

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ジャーナルフリー

1993 年 9 巻 1 号 p. 10-16

DOI https://doi.org/10.5104/jiep1993.9.10

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