日本結晶成長学会誌
Online ISSN : 2187-8366
Print ISSN : 0385-6275
ISSN-L : 0385-6275
23aB5 マイクロチャネルエピタキシにおける横方向成長層の合体と転位導入の抑制(エピタキシャル成長I)
巖 崢成塚 重弥西永 頌
著者情報
ジャーナル フリー

1999 年 26 巻 2 号 p. 90-

詳細
抄録
The process of the lateral coalescence in the MCE of InP by LPE was studied. We suggest two modes of the lateral coalescence: the "one-zipper" and the "two-zipper" growth. Dislocations are usually found in the coalescent region when the growth is in the "two-zipper" mode, however, when the growth changes to the "one-zipper" mode, even the coalescent region becomes dislocation-free.
著者関連情報
© 1999 日本結晶成長学会
前の記事 次の記事
feedback
Top