新機能を創造するナノインプリント技術

精密工学会誌

Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
ISSN-L : 0912-0289

展望

新機能を創造するナノインプリント技術

—総論と将来展望—

松井真二

著者情報

キーワード: nanoimprint, NIL, thermal nanoimprint, UV nanoimprint

ジャーナルフリー

2010 年 76 巻 2 号 p. 137-142

DOI https://doi.org/10.2493/jjspe.76.137

詳細

記事の1ページ目

著者関連情報

© 2010 公益社団法人精密工学会

お気に入り & アラート

関連記事

閲覧履歴

前身誌

精密工学会誌論文集

Top