熱可塑性樹脂材料技術

精密工学会誌

Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
ISSN-L : 0912-0289

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熱可塑性樹脂材料技術

—丸善石油化学の樹脂材料開発—

高谷佳輝

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キーワード: thermal nanoimprint lithography, polymer designing, mold releasing, thin residual resist, etching resistance

ジャーナルフリー

2010 年 76 巻 2 号 p. 156-160

DOI https://doi.org/10.2493/jjspe.76.156

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