精密工学会誌
Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
ISSN-L : 0912-0289
解説
3D MEMS光スイッチモジュール
山口 城治, 水上 雅人, 内山 真吾, 根本 成, 河尻 祐子
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キーワード: MEMS, optical switch, fiber collimator, micro mirror, MEMS control
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2014 年 80 巻 2 号 p. 151-155

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