高機能マイクロデバイスのためのフェムト秒レーザプロセッシング

精密工学会誌

Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
ISSN-L : 0912-0289

解説

高機能マイクロデバイスのためのフェムト秒レーザプロセッシング

—二光子造形による可変プラズモニック素子の開発を中心に—

西山宏昭

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キーワード: femtosecond laser, two-photon polymerization, 3D devices, surface plasmon

ジャーナルフリー

2015 年 81 巻 8 号 p. 718-721

DOI https://doi.org/10.2493/jjspe.81.718

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