解説
X線光電子分光分析法と飛行時間型二次イオン質量分析法におけるアルゴンガスクラスターイオンビームの応用
キーワード:
X-ray photoelectron spectroscopy,
time-of-flight secondary ion mass spectrometry,
argon gas cluster ion beam,
depth profile,
in-situ cross sectioning
2016 年 82 巻 4 号 p. 320-324
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