SiCインゴットの新しいレーザスライシング

精密工学会誌

Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
ISSN-L : 0912-0289

解説

SiCインゴットの新しいレーザスライシング

—KABRAプロセスの開発—

平田和也, 山本涼兵, 西野曜子, 村澤尚樹, 高橋邦充

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キーワード: SiC, ingot, laser slicing, KABRA process, wire saw, TTV, WARP

ジャーナルフリー

2017 年 83 巻 9 号 p. 829-832

DOI https://doi.org/10.2493/jjspe.83.829

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