「フィゾー型機械式位相シフト干渉計による高開口数レンズの高精度測定技術の開発」にまつわる話

精密工学会誌

Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
ISSN-L : 0912-0289

こぼれ話と苦労話

「フィゾー型機械式位相シフト干渉計による高開口数レンズの高精度測定技術の開発」にまつわる話

熊谷俊樹, 富田恵多, 日比野謙一, 和﨑克己

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ジャーナルフリー

2024 年 90 巻 2 号 p. 182-183

DOI https://doi.org/10.2493/jjspe.90.182

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