精密工学会誌
Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
ISSN-L : 0912-0289
電子線及び直流プラズマCVDによるダイヤモンド膜
犬塚 直夫澤邊 厚仁
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1987 年 53 巻 10 号 p. 1515-1518

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