イオン化蒸着法によるダイヤモンド及びcBN膜

精密工学会誌

Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
ISSN-L : 0912-0289

イオン化蒸着法によるダイヤモンド及びcBN膜

難波義捷

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ジャーナルフリー

1987 年 53 巻 10 号 p. 1523-1526

DOI https://doi.org/10.2493/jjspe.53.1523

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