ARE(活性化反応性蒸着)法によるcBN膜

精密工学会誌

Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
ISSN-L : 0912-0289

ARE(活性化反応性蒸着)法によるcBN膜

稲川幸之助, 渡辺一弘, 斉藤一也, 湯池祥之, 伊藤昭夫

著者情報

ジャーナルフリー

1987 年 53 巻 10 号 p. 1536-1539

DOI https://doi.org/10.2493/jjspe.53.1536

詳細

記事の1ページ目

著者関連情報

© 社団法人精密工学会

お気に入り & アラート

関連記事

閲覧履歴

前身誌

精密工学会誌論文集

Top