レーザPVD法によるcBN膜

精密工学会誌

Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
ISSN-L : 0912-0289

レーザPVD法によるcBN膜

峰田進栄, 安永暢男

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ジャーナルフリー

1987 年 53 巻 10 号 p. 1532-1535

DOI https://doi.org/10.2493/jjspe.53.1532

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抄録

CO₂レーザを用いたレーザPVD法の特徴を紹介し,またNイオン同時照射により,化学量論比に近いcBN膜の作成が可能であることを示した.膜質および基材との密着性の向上を図り,コーティング工具として実用可能なcBN膜を作成することが当面の課題といえる.

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