精密工学会誌
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マイクロ波帯でのセラミックスの誘電特性測定
福島 英沖山中 暎夫松居 正夫
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1987 年 53 巻 5 号 p. 743-748

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抄録
空胴共振器を用いて,マイクロ波帯(6GHz)でのセラミックスの誘電特性を測定し,以下の結果を得た.
(1) 各種セラミックスの常温での比誘電率と誘電損率を直方体空胴共振器を用いて測定することが可能であった.
(2) そのときの相対誤差は,比誘電率は3%以内,誘電損率は10%以内(εrtanδ>0.005)である.また,測定値と文献値との誤差も比誘電率で2%以内であった.
(3) 直方体空胴共振器内でアルミナ(92%)試料を誘電加熱しながら,臨界結合した共振状態でのアイリス幅とプランジャ位置を測定することにより,1800℃までの誘電特性を測定することができた.
(4) 1800℃におけるアルミナ(92%)の比誘電率及び誘電損率は,それぞれ常温の2倍及び100倍以上に増大した.
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