位相シフトを導入したモアレトポグラフィ法による反射物体の測定

抄録

反射物体を対象としてモアレ等高線による形状測定を行った.一般のモアレトポグラフィ法のみでは測定感度が不十分であるために, 位相シフト干渉法を導入することによって感度を高めるとともに, 物体表面の凹凸の自動判別をも行いうる手法を導入した.その結果,
1.基準となるものは明暗格子1枚であり, シンプルな光学系が組み立てられる.
2.等高線を用いた計測および表示を行っており, 三次元形状の直観的理解がしやすい.
3.70μm程度の測定深度を有するとともに, 3μm程度の分解能をもつ面計測方式である,
といった特徴を有する測定システムを開発することができた.