ゾーンプレート干渉法,あるいはフィゾー干渉法と組み合わせたゾーンプレート干渉法では,鮮明な干渉じまを得るために,ゾーンプレートの回折効率を調節して,参照光と測定光の強度を同じにしなければならない.そこで位相型回折格子の各次数の回折効率を理論的に計算した.デューティ比と位相差を変えた格子の回折効率を検討したところ,実験と理論はほぼ一致した.この際,位相差の測定を正確に行うために,光変調素子を用いた透過物体の位相測定装置を作り,位相差の測定を行った.
ゾーンプレートの回折効率の調節を位相差の操作で行った.回折効率の計算に基づき参照波面と測定波面の光強度が等しくなる条件のゾーンプレートを作り,透過光と回折光によるゾーンプレート干渉じまを鮮明にすることができた.また,フィゾー干渉法と組み合わせた干渉でも,反射光と回折光の強度を調節して,鮮明な干渉じまを得ることができた一これにより明るいミラーの測定に対応できるようになった.
