微小セラミックス部品の研削加工
1997 年 63 巻 6 号 p. 884-888
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1997 年 63 巻 6 号 p. 884-888
研削加工のマイクロ加工への適用を検討するため.小型のNC研削加工機を試作し, 微小セラミックス部品の研削加工を行い, 以下の結論を得た.
(1) 砥石周速の同じ条件下でも, 研削抵抗の小さくなる砥石径が存在し, さらに各砥石径について研削抵抗の小さな粒度が存在する.
(2) 砥石の粒度が小さいほど表面粗さの小さい微小円柱を製作することができる.
(3) 直径5mm, #800砥石が微小部品の製作に適した砥石であり.それを用いてアルミナ, ジルコニアおよび窒化けい素で円柱を製作することを試み.長さ2mmでそれぞれ直径60μm.25μm.150μmの円柱を得た.その値は曲げ強度の大きいセラミックスほど小さい.
(4) 直径5mm, #800砥石を用い, ジルコニアで長さ2mmの段付き円柱と一辺が100μmの角柱を製作した.
