超精密位置決めにおける文献とアンケート調査

白石 昌武; 楠井 直樹

doi:10.2493/jjspe.65.799

白石昌武, 楠井直樹

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ジャーナルフリー

1999 年 65 巻 6 号 p. 799-804

DOI https://doi.org/10.2493/jjspe.65.799

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発行日: 1999/06/05 受付日: 1999/04/12 J-STAGE公開日: 2009/04/10 受理日: - 早期公開日: - 改訂日: -
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訂正日: 2009/04/10 訂正理由: - 訂正箇所: 引用文献情報訂正内容: 訂正前 : 1)位置決め技術関連文献抄録集1985-1996,精密工学会超精密位置決め専門委員会発行.
2)佐藤幹夫,涌井伸二,原辰次:H∞制御によるXYステージの位置決め制御,システム制御情報学会誌,39, 6(1995) 254.
3)末広利範大川不二夫,外村隆行:送り駆動系の適応制御日本機械学会講演会講演論文集,(1996)102.
7)武田行生,舟橋宏明,岩下奨:任意の出力節姿勢角がとれる実用作業領域に優れた3自由度平面パラレルメカニズム試作機の位置決め精度,日本機械学会講演会講演論文集,(1996) 21.
8)井澤實:精密および超精密位置決め技術の現状,精密工学会誌,57, 10(1991) 1707.
9)清水茂夫,坂戸啓一郎:アンケート調査に見る超精密位置決め技術に関する現状と期待,精密工学会誌,61, 12(1995) 1650.

訂正後 : 1)位置決め技術関連文献抄録集1985-1996,精密工学会超精密位置決め専門委員会発行.
2)佐藤幹夫,涌井伸二,原辰次:H∞制御によるXYステージの位置決め制御,システム制御情報学会誌,39, 6(1995) 254.
3)末広利範大川不二夫,外村隆行:送り駆動系の適応制御日本機械学会講演会講演論文集,(1996)102.
7)武田行生,舟橋宏明,岩下奨:任意の出力節姿勢角がとれる実用作業領域に優れた3自由度平面パラレルメカニズム試作機の位置決め精度,日本機械学会講演会講演論文集,(1996) 21.
8)井澤實:精密および超精密位置決め技術の現状,精密工学会誌,57, 10(1991) 1707.
9)清水茂夫,坂戸啓一郎:アンケート調査に見る超精密位置決め技術に関する現状と期待,精密工学会誌,61, 12(1995) 1650.

責任著者(Corresponding author)

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