Journal of Surface Analysis
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連載(講義)
電子光学入門
-電子分光装置の理解のために- (第9回)
嘉藤 誠
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2007 年 14 巻 1 号 p. 20-48

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抄録

 電子分光においてもちいられるエネルギーアナライザの動作原理と特性に関して, 電子光学的な観点から議論します. アナライザはエネルギー分散作用だけではなく, 電子レンズとしての集束作用をあわせもつ必要があります. これら二つの作用はアナライザの動作を特徴づけるものであり, エネルギー分解能と感度を決定する要因となります.

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© 2007 一般社団法人 表面分析研究会
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