Journal of Surface Analysis
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連載(講義)
電子光学入門
-電子分光装置の理解のために- (第12回)
嘉藤 誠
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2008 年 15 巻 1 号 p. 59-84

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抄録

 電子光学系において, 像の性質を支配するのは対物レンズです. これは, 電子ビームの開き角が物面において最も大きな値となるからです. 結像をともなう電子分光の場合, 空間分解能より像強度が優先されることがしばしばあり, そのときの像の性質は対物レンズの球面収差によって決定されます. 今回は, 球面収差の存在のもとでのインコヒーレント光学系の結像を議論します. また, そのような光学系の評価のために有効となる空間周波数応答の理論を紹介します.

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© 2008 一般社団法人 表面分析研究会
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