Journal of Surface Analysis
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連載(講義)
電子光学入門
- 電子分光装置の理解のために - 第13回
嘉藤 誠
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2009 年 16 巻 1 号 p. 20-41

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抄録

 本連載の最終章として,電子光学系における結像と電子分光に関するテーマをいくつか述べます.まず,従来の結像光学系とエネルギーアナライザを組み合せた電子分光結像系を説明します.この系においては,通常の分光系や電子顕微鏡とは違った特別な光学条件が要求されます.次に,電子光学系による結像の方式としてのTEM,SEM,STEMの等価性を相反定理を用いて示します.最後に,電子光学系の設計のために用いられる数値計算の技法をいくつか紹介します.

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© 2009 一般社団法人 表面分析研究会
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