ToF-SIMSにおける冷却測定

－有機材料表面の測定における繰り返し性の向上－

抄録

　飛行時間型二次イオン質量分析法（Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry）は，材料最表面に存在する物質の化学構造情報を得ることができる点で有機材料の表面分析には非常に有用なツールである．しかし，測定が高真空中で行われるため，いわゆる“真空ダメージ”により本来測定したい状態とは異なる状態を分析している場合，あるいは再現性のある結果が得られない場合がある．このような場合，試料の冷却が効果的である．本報告では，試料冷却により，“真空ダメージ”を低減し，再現性を保ちながら有機材料表面のToF-SIMS測定を行った例について報告する．