外部汚染成分などが共存するPEG · PMA混合試料のTOF-SIMSデータに対する多変量解析の適用

抄録

基板や外部汚染成分などが共存する2種の高分子混合モデル試料より得られたTOF-SIMSデータを有意な成分数の決定および純成分のスペクトルの分離という点で相補的な特徴をもつ主成分分析（PCA）および多変量スペクトル分解（MCR）にて解析し，得られた結果を評価した．その結果，PCAは分布の違いなどの特徴的な傾向をもつ物質を把握し，MCRの成分数を推定するのに有用であること，MCRは純成分のスペクトルを分離し，各純成分の由来を推定するのに有用であることが示唆された．両多変量解析手法を用いるデータ解析法は未知成分を含む一般的な試料のTOF-SIMSデータへの応用も期待される．