基板や外部汚染成分などが共存する2種の高分子混合モデル試料より得られたTOF-SIMSデータを有意な成分数の決定および純成分のスペクトルの分離という点で相補的な特徴をもつ主成分分析（PCA）および多変量スペクトル分解（MCR）にて解析し，得られた結果を評価した．その結果，PCAは分布の違いなどの特徴的な傾向をもつ物質を把握し，MCRの成分数を推定するのに有用であること，MCRは純成分のスペクトルを分離し，各純成分の由来を推定するのに有用であることが示唆された．両多変量解析手法を用いるデータ解析法は未知成分を含む一般的な試料のTOF-SIMSデータへの応用も期待される．

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ナノテクノロジーの発展に伴い表面の機械特性の重要性が増大している．ダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜は，磁気ディスク保護膜など多くの分野に応用され，例えば数原子層からなるDLC膜のナノ機械特性の評価が必要になっている．本稿ではDLC膜のナノ機械特性評価技術としてナノインデンテーション，ナノスクラッチ，ナノ摩耗，フォースモジュレーション法による振動摩耗，摩擦力分布，粘弾性などの評価技術を紹介する．

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DLC膜は複数の炭素の結合状態が混在した非晶質膜であり，その結合状態と特性は密接な関係がある．炭素の結合状態を評価する最も有効な分析手法の一つであるEELSの原理を紹介し，反射EELSを用いたDLC膜の評価例について紹介する．

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ダイヤモンドライクカーボン(DLC）は，sp²炭素・sp³炭素・水素からなるアモルファス炭素同素体である．本報では，著者らがこれまで行ってきたX線光電子分光法（XPS）によるDLC薄膜の表面化学構造解析について解説する．DLC薄膜のC 1sスペクトルは，Gauss関数を重畳したDoniach-Šunjic関数によって解析され，sp²/sp³炭素ならびに炭素‐炭素/炭素‐水素結合の差異を説明する4成分に波形分離された．本解析は，高分解弾性反跳検出（ERD）法による実水素量分布に対応した．他方，DLC表面の酸素官能基分析のための，簡単な数学的処理を加味した修正気相化学誘導体化(GCD）法も解説する．本法は解析を複雑にする副反応を考慮しており，DLC表面の酸化プロセスをよく説明することができた．以上の議論より，XPSはDLC表面の包括的な分析ツールになり得ると結論する．

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