Journal of Surface Analysis
Online ISSN : 1347-8400
Print ISSN : 1341-1756
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ダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜のナノ機械特性評価
三宅 正二郎
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2013 年 20 巻 1 号 p. 8-17

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抄録
ナノテクノロジーの発展に伴い表面の機械特性の重要性が増大している．ダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜は，磁気ディスク保護膜など多くの分野に応用され，例えば数原子層からなるDLC膜のナノ機械特性の評価が必要になっている．本稿ではDLC膜のナノ機械特性評価技術としてナノインデンテーション，ナノスクラッチ，ナノ摩耗，フォースモジュレーション法による振動摩耗，摩擦力分布，粘弾性などの評価技術を紹介する．
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© 2013 一般社団法人　表面分析研究会
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