抄録
ダイヤモンドライクカーボン(DLC）は，sp2炭素・sp3炭素・水素からなるアモルファス炭素同素体である．本報では，著者らがこれまで行ってきたX線光電子分光法（XPS）によるDLC薄膜の表面化学構造解析について解説する．DLC薄膜のC 1sスペクトルは，Gauss関数を重畳したDoniach-Šunjic関数によって解析され，sp2/sp3炭素ならびに炭素‐炭素/炭素‐水素結合の差異を説明する4成分に波形分離された．本解析は，高分解弾性反跳検出（ERD）法による実水素量分布に対応した．他方，DLC表面の酸素官能基分析のための，簡単な数学的処理を加味した修正気相化学誘導体化(GCD）法も解説する．本法は解析を複雑にする副反応を考慮しており，DLC表面の酸化プロセスをよく説明することができた．以上の議論より，XPSはDLC表面の包括的な分析ツールになり得ると結論する．
