Journal of Surface Analysis
Online ISSN : 1347-8400
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ISSN-L : 1341-1756
解説
反射EELSによるDLCの結合状態の評価
横溝 臣智
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2013 年 20 巻 1 号 p. 18-24

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抄録
DLC膜は複数の炭素の結合状態が混在した非晶質膜であり,その結合状態と特性は密接な関係がある.炭素の結合状態を評価する最も有効な分析手法の一つであるEELSの原理を紹介し,反射EELSを用いたDLC膜の評価例について紹介する.
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© 2013 一般社団法人 表面分析研究会
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