Journal of Surface Analysis
Online ISSN : 1347-8400
Print ISSN : 1341-1756
ISSN-L : 1341-1756
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反射EELSによるDLCの結合状態の評価
横溝 臣智
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2013 年 20 巻 1 号 p. 18-24

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抄録
DLC膜は複数の炭素の結合状態が混在した非晶質膜であり，その結合状態と特性は密接な関係がある．炭素の結合状態を評価する最も有効な分析手法の一つであるEELSの原理を紹介し，反射EELSを用いたDLC膜の評価例について紹介する．
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© 2013 一般社団法人　表面分析研究会
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