Journal of Surface Analysis
Online ISSN : 1347-8400
Print ISSN : 1341-1756
ISSN-L : 1341-1756
技術報告
グラフェン導電層を用いた絶縁物のオージェ電子分光分析
鴨井 督
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2017 年 23 巻 3 号 p. 160-166

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抄録
オージェ電子分光分析（AES）は物質の数nmの最表面組成を判定できる反面，その測定対象は導電性を持つ材料に限定される．そのため，AESによる絶縁物観察のためには極薄の金属膜コートにより，試料表面に導電性を付与する等の前処理が必要となる．本報告では導電性付与のため，1原子層状物質であるグラフェンを測定対象上に保持することで，絶縁材料の微小領域におけるAES分析を実現した．
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© 2017 一般社団法人　表面分析研究会
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