抄録
飛行時間形二次イオン質量分析法（Time-of-Flight secondary ion mass spectrometry: TOF-SIMS）は高空間分解能での化学イメージングが可能な手法であり，もっとも優れた化学イメージング法の1つである．しかし，ナノレベルでのより高い空間分解能でのイメージングが要求されているため，より空間分解能の高いSEMデータとイメージフュージョンしたイメージデータを主成分分析することにより，化学情報を保ったままTOF-SIMS本来よりも高い空間分解能で表現した．また，TOF-SIMSスペクトルは解釈が難しい場合が多いため，スパースモデリングと機械学習を応用し，スペクトルの単純化や自動判別を試みた．
