Journal of Surface Analysis
Online ISSN : 1347-8400
Print ISSN : 1341-1756
ISSN-L : 1341-1756
解説
標準物質の利用と表面分析
黒河 明
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2021 年 28 巻 1 号 p. 2-19

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抄録
分析対象物質が既知量含まれる標準物質を分析機器で測定することによって，分析機器の出力と標準物質がもつ値との相関を得ることができる．標準物質及び認証標準物質が備える特徴，測定結果の信頼性を現す用語，不確かさ評価法，表面分析用の認証標準物質などを概説する．ナノ薄膜試料の厚さを測定対象量とする表面分析法について，試料のもつ厚さ以外の特徴量による影響に触れる．表面分析用の標準物質を開発するときの課題について述べる．
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© 2021 一般社団法人　表面分析研究会
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