薄膜センサによるエンジン実働中のピストンピンボス部の油膜圧力計測

抄録

直径約0.45mmで厚さ5～7μmの薄膜圧力センサを、エンジン実働中の高温下のピストンピンボス部油膜圧力計測用として開発し、その計測精度を従来の薄膜圧力センサより大幅に向上させた。エンジン軸受用の従来のセンサの構造に加え、温度による計測誤差を低減できる窒化膜を用いた新しいセンサ構造について述べ、ディーゼルエンジンでの計測結果を紹介する。