パルス光加熱サーモリフレクタンス法によるTiO<sub>2</sub>およびNbドープTiO<sub>2</sub>薄膜の熱物性測定

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第71回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 16p-ZJ-18

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.2.0_3779

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 71

開催地: 長崎大学

開催日: 2010/09/14 - 2010/09/17

パルス光加熱サーモリフレクタンス法によるTiO₂およびNbドープTiO₂薄膜の熱物性測定

*田崎ちひろ, 岡伸人, 八木貴志, 竹歳尚之, 馬場哲也, 神山敏久, 重里有三

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キーワード: 16p-ZJ-18, 合同セッション, 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」, 透明導電膜, 熱物性

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