ジエチル亜鉛を原料に用いたスプレー法による不純物添加酸化亜鉛薄膜のアニール効果

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第60回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 29a-G19-1

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2013.1.0_3691

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 60

開催地: 神奈川工科大学

開催日: 2013/03/27 - 2013/03/30

ジエチル亜鉛を原料に用いたスプレー法による不純物添加酸化亜鉛薄膜のアニール効果

*井手亜貴子, 長野文子, 小嶋稔, 吉野賢二, 竹元裕仁, 豊田浩司, 稲葉孝一郎, 羽賀健一, 中俊雄, 徳留功一

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キーワード: 29a-G19-1, 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」, ZnO, スプレー, 透明導電膜

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