超薄膜Pt/Tiを用いたブリッジ型水素センサの開発

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第62回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 11p-D13-4

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_341

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

超薄膜Pt/Tiを用いたブリッジ型水素センサの開発

*井並祥太, 牛田祐貴, 武市修蔵, 菅井良祐, 堺健司, 紀和利彦, 塚田啓二

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キーワード: 11p-D13-4, 応用物理学一般, 新技術・複合新領域, センサ・センシング技術，観測法, 水素センサ

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