応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第76回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 14p-PB6-9
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Si及びC原子放出モデルに基づくSiC熱酸化メカニズムの統合理論
*土方 泰斗浅藤 亮祐
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