Si及びC原子放出モデルに基づくSiC熱酸化メカニズムの統合理論

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第76回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 14p-PB6-9

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.2.0_3218

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 76

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2015/09/13 - 2015/09/16

Si及びC原子放出モデルに基づくSiC熱酸化メカニズムの統合理論

*土方泰斗, 浅藤亮祐

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キーワード: 14p-PB6-9, 結晶工学, IV族系化合物（SiC）, 絶縁膜／MOS構造, 炭化ケイ素, 熱酸化, MOS界面

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