ニトロフェニル自己組織化単分子膜における電子線誘起極性変化によるブロック共重合体のラメラ配向

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第64回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 14p-423-6

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.1.0_1652

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 64

開催地: パシフィコ横浜

開催日: 2017/03/14 - 2017/03/17

ニトロフェニル自己組織化単分子膜における電子線誘起極性変化によるブロック共重合体のラメラ配向

*山本洋揮, Guy Dawson, Alex P.G. Robinson, 古澤孝弘

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キーワード: 14p-423-6, ビーム応用, 微細パターン・微細構造形成技術, DSAリソ, 自己組織化, 電子線, ブロック共重合体

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