SiC C 面上に水蒸気雰囲気で形成した熱酸化SiO<sub>2</sub>膜の熱処理による電流－電圧特性改善

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第64回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 17a-301-9

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.1.0_3569

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 64

開催地: パシフィコ横浜

開催日: 2017/03/14 - 2017/03/17

SiC C 面上に水蒸気雰囲気で形成した熱酸化SiO₂膜の熱処理による電流－電圧特性改善

*飯塚望, 蓮沼隆, 山部紀久夫

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キーワード: 17a-301-9, 結晶工学, IV族系化合物（SiC）, 絶縁膜／MOS構造, SiC, 絶縁膜

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