アモルファス酸化物薄膜の熱物性；(2)アモルファス(Al<i><sub>x</sub></i>Ga<sub>1-<i>x</i></sub>)<sub>2</sub>O<sub>3</sub>薄膜の熱伝導率

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第67回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 14a-A405-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2020.1.0_3572

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 67

開催地: 上智大学四谷キャンパス

開催日: 2020/03/12 - 2020/03/15

アモルファス酸化物薄膜の熱物性；(2)アモルファス(Al_xGa_1-x)₂O₃薄膜の熱伝導率

*安倍知奈実, 山下雄一郎, 田中幸美, 八木貴志, 柏木誠, 賈軍軍, 服部浩一郎, 竹歳尚之, 岡島敏浩, 小口有希, 重里有三

著者情報

*安倍知奈実
青学大
山下雄一郎
青学大
産総研
田中幸美
産総研
八木貴志
青学大
産総研
柏木誠
青学大
賈軍軍
早大国際理工学C
服部浩一郎
産総研
竹歳尚之
青学大
産総研
岡島敏浩
あいちSR
小口有希
青学大機器分析C
重里有三
青学大

キーワード: 14a-A405-5, 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」, ナノスケール・低次元系, 熱物性

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