軸方向放電励起CO<sub>2</sub>レーザーによるガラスの穴あけ加工

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第67回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 14a-PB4-6

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2020.1.0_824

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 67

開催地: 上智大学四谷キャンパス

開催日: 2020/03/12 - 2020/03/15

軸方向放電励起CO₂レーザーによるガラスの穴あけ加工

*馬場善仁, 渡會翔平, 坂本康平, 宇野和行, 實野孝久

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キーワード: 14a-PB4-6, 光・フォトニクス, レーザープロセシング, 微細加工, レーザー加工, CO2レーザー, ガラス

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