歪みSi/ SiGe/Si(110)ヘテロ構造へのin situ Sbドーピングに関する研究

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第68回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 17p-Z33-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_2659

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

歪みSi/ SiGe/Si(110)ヘテロ構造へのin situ Sbドーピングに関する研究

*吉川満希, 浪内大地, 陳北辰, 堀内未希, 藤澤泰輔, 山中淳二, 原康祐, 中川清和, 有元圭介

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キーワード: 17p-Z33-7, 結晶工学, IV族結晶，IV-IV族混晶, 結晶成長, 歪みSi, Sbドーピング, Raman

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