応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第69回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 25p-P11-2
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 69

開催地: ハイブリッド開催（青山学院大学＋オンライン）

開催日: 2022/03/22 - 2022/03/26

Ar+イオン衝撃によりp型GaNに導入される電気的ダメージのUV光照射効果
*豊留 彬, 中野 由崇, 川上 烈生, 新部 正人
著者情報
キーワード: 25p-P11-2, 半導体, 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価, 窒化物プロセス技術・評価, p型GaN, Ar+イオン, UV光照射
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