らせん・混合転位密度が低いAlNテンプレートを用いたDUV-LEDの開発

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第69回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 26a-E203-9

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2729

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 69

開催地: ハイブリッド開催（青山学院大学＋オンライン）

開催日: 2022/03/22 - 2022/03/26

らせん・混合転位密度が低いAlNテンプレートを用いたDUV-LEDの開発

*上杉謙次郎, 窪谷茂幸, 中村孝夫, 正直花奈子, 肖世玉, 久保雅敬, 三宅秀人

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キーワード: 26a-E203-9, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, 光デバイス（紫外）, AlN, アニール, 深紫外発光ダイオード

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