アルミディスク用テープテクスチャリング加工液の性状と加工性能

抄録

アルミハードディスク基板は, 磁気ヘッドと磁気ディスク基板上の磁性体を円周方向に揃えるために, ほぼ同心円状の微小な傷を入れる加工であるテクスチャリング加工が施される. 本研究ではテープを用いたテクスチャリング加工であるテープテクスチャリング加工において加工能率の向上と表面性状の向上を目指して, テープテクスチャリング加工液の界面活性剤の種類の選定, 砥粒濃度の最適化, キレート剤の添加, 砥粒の改質を行い, 加工能率と表面粗さの向上を達成した.