抄録
超音波加工は，機械的加工法としては加工力が小さく，砥粒径，振動振幅，加工荷重が微小になるマイクロ加工では加工面性状も良好である．それによる微細穴や微細溝などの凹形状の加工結果は報告されているが，凸形状の加工は行われていなかった．そこで軸形状の製作を超音波加工によるマイクロ加工で試みた．工具板に側面が鉛直方向（振動方向）に対して傾きをもつ溝を作成し，その側面を工具面として使用した．実験の結果，直径5μmの超硬合金微細軸の製作を行うことが可能であり，加工面は光沢をもち滑らかになることがわかった．ステンレス鋼工具の場合，加工速度は振動振幅・加工荷重の増加とともに上昇するが，ばらつきが大きくなる場合があった．工具摩耗率は，振幅・荷重との明らかな相関がみられなかった．また，従来の超音波加工の報告例とは異なり，焼結ダイヤモンド工具では加工速度が低くなる．
