角形石英ガラス研磨におけるスラリー流れに関する研究

抄録

LCDパネル製造のフォトリソグラフィ工程で使用される石英ガラス製フォトマスクは大型化し品質の向上が求められている．品質向上を目的としてマスク表面の研磨が必要となっており，石英ガラスの研磨時に発生する問題の一つに，スラリー流れの不均一が挙げられる．本研究では，角形石英ガラスの精密研磨におけるスラリーの均一な流れを実現するため，溝形状の異なるポリシングパッドでの研磨時の蛍光剤流れによる可視化実験を行い，スラリー流れのメカニズムを考察した．