ダイヤモンド砥粒整列ブロックのUVツルーイング技術の開発

坂本 武司; 南部 陽亮; 齋藤 廉平; 峠 睦; 川下 智幸; 峠 直樹

doi:10.11420/jsat.57.600

坂本武司, 南部陽亮, 齋藤廉平, 峠睦, 川下智幸, 峠直樹

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ジャーナルフリー

2013 年 57 巻 9 号 p. 600-604

DOI https://doi.org/10.11420/jsat.57.600

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抄録

ダイヤモンドホイールの新たなツルーイング法の開発を目的とし，単結晶ダイヤモンド基板の超精密研磨で実績のある紫外線照射研磨法をダイヤモンド砥粒が一定間隔に配置したダイヤモンド砥粒整列ブロックのツルーイングに適用した．ツルーイング実験の結果，砥粒切れ刃先端位置のばらつきを10μm以内に収めることができ，砥粒先端平坦部の外周部に鋭利化された稜線の形成と平坦部の6.8nmRa程度の鏡面が達成できた．フライス加工に応用し，良好な加工面が得られることを確認した．

責任著者(Corresponding author)

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