抄録
本研究ではマイクロカンチレバーに振動を付与して加工を行う方法に注目し，実験により加工時のマイクロカンチレバーの振動現象を明らかにすることを目的とした．加工の実現に向けて試料とマイクロカンチレバーの距離に応じたダイナミクスを把握するために，強制加振状態でのフォースカーブ（動的フォースカーブ）を計測した．この結果から，マイクロカンチレバーの振動形態を（a）引力タッピング，（b）斥力タッピング，（c）押しつけこすり，（d）引きこみこすりと分類した．また，マイクロカンチレバーを強制加振した状態で加工実験を行い，加工を行うには押しつけこすり状態が有用であることを切削くずの多さから指摘した．
