アルミニウムの陽極酸化皮膜を用いた気体分析用感湿素子

抄録

アルミニウムの陽極酸化皮膜を用い,樹脂を使用しない方法で電気的に絶縁する方法で,比較的高い温度領域まで応用できる感湿素子の開発を行った。相対湿度が0～20%の範囲において,本感湿素子は湿度に対応した直線的な出力電圧を示し,吸湿・放湿過程における応答性も非常に良好である。本感湿素子を組み込んだ発生気体分析法を活用することにより,金属酸化物を含む各種材料について,微量水分を発生するような熱分解過程や水素還元過程の測定が可能である。